[发明专利]一种辉光放电质谱仪中钽部件的处理方法在审
| 申请号： | 202010424806.9 | 申请日： | 2020-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN111570390A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;周童 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/04;C23G1/10;F26B21/00;F26B5/04 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种辉光放电质谱仪中钽部件的处理方法，所述方法包括：将钽部件依次进行酸洗、漂洗及干燥。本发明中，通过对辉光放电质谱仪中的钽部件通过酸洗、漂洗及干燥之间的协同处理，显著的提高了辉光放电质谱仪的检测效率和数据有效性，使得钽部件每次的使用寿命提高为未处理部件的2‑3倍，同时也使设备维护周期延长为未处理或不当处理的2‑3倍。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 辉光 放电 质谱仪 部件 处理 方法 | ||
【主权项】：
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