[发明专利]电子束偏转扫描装置及应用方法在审

专利信息
申请号: 202010424817.7 申请日: 2020-05-19
公开(公告)号: CN111479378A 公开(公告)日: 2020-07-31
发明(设计)人: 贾朝伟;李琦;曾利;严鹏程 申请(专利权)人: 四川智研科技有限公司
主分类号: H05H7/00 分类号: H05H7/00
代理公司: 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 代理人: 蒋海燕
地址: 621000 四川省绵阳*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种电子束偏转扫描装置及应用方法,包括:产生点状电子束的电子加速管;对点状电子束进行扫描的一套二级电磁铁,其被配置为包括:相配合的磁极、磁轭和激磁线圈,以构成产生预定波形的偏转扫描磁场;所述点状电子束经过二极磁铁时,被偏转扫描磁场偏转一个预定的角度,并以此预定角度为中心扫描展开形成带状电子束,通过引出窗进入大气中。本发明提供一种电子束偏转扫描装置及应用方法,其能够将原有设备中两套装置实现的功能,用一套二极磁铁来实现,结构紧凑,体积小,成本低。
搜索关键词: 电子束 偏转 扫描 装置 应用 方法
【主权项】:
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