[发明专利]一种基于双悬空结构的可调红外热辐射器件

摘要

本发明公开了一种基于双悬空结构的可调红外热辐射器件，包括下层悬空结构和上层悬空结构；下层悬空结构自下而上依次包括基底、下层支撑层、下层加热层、下层导电层；所述的上层悬空结构自下而上依次包括上层支撑层、上层绝缘层、上层导电层、上层半导体微纳结构，或者依次包括上层支撑层、上层绝缘层、上层金属微纳结构；通过调节下层悬空结构的温度，调节可调红外热辐射器件的黑体辐射背景谱线，通过加电压控制上下层导电层之间的静电力，影响其形变程度，从而推动上层悬空结构靠近或者远离下层悬空结构，改变上层空气间隙，进而改变微纳结构的辐射波长以及辐射强度，可以在低功耗状态下，实现波长调谐及强度调制等功能。