[发明专利]膜层固化装置有效
| 申请号： | 202010434325.6 | 申请日： | 2020-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN113695204B | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 吴天成 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/06 | 分类号： | B05D3/06 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;陈丽丽 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种膜层固化装置。所述膜层固化装置其特征在于，包括：支撑台，用于承载衬底，所述衬底表面具有一膜层；光源组件，位于所述支撑台上方，所述光源组件包括朝向所述支撑台设置、且投影覆盖整个所述膜层的出光面的光源阵列，所述光源阵列包括均匀分布于所述出光面上的多个点状光源，所述光源阵列发射的光线能够均匀照射整个所述膜层，以提高所述膜层固化后的厚度分布均匀性。本发明一方面简化了所述膜层固化装置的整体结构和运行成本；另一方面，能够使得固化后所述膜层厚度分布的均匀性得到极大的改善。 | ||
| 搜索关键词： | 固化 装置 | ||
【主权项】：
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