[发明专利]一种晶圆清洗装置和晶圆清洗方法在审
| 申请号： | 202010434787.8 | 申请日： | 2020-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN111558559A | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 许振杰;王剑;白羽 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天津市津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种晶圆清洗装置和晶圆清洗方法，晶圆清洗装置包括：底座；晶圆旋转组件，其设置于底座的上部，用于支撑晶圆并驱动晶圆绕晶圆的轴线转动；清洗刷，其为圆筒状结构，所述清洗刷设置于晶圆的两侧并绕其轴线滚动；清洗刷支撑组件，其包括支撑板和连接板，所述支撑板设置于所述清洗刷的两端，所述连接板与所述清洗刷两端的支撑板连接；清洗刷移动组件，其包括丝杠、驱动件和导轨，所述丝杠与所述连接板连接，所述导轨与所述支撑板连接，所述驱动件驱动所述丝杠旋转以带动清洗刷支撑组件及清洗刷整体移动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
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