[发明专利]一种超高真空设备有效
| 申请号： | 202010436585.7 | 申请日： | 2020-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN111530118B | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 王璇;邱恒山;陆彬 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | B01D7/00 | 分类号： | B01D7/00 |
| 代理公司： | 郑州晟佳专利代理事务所(普通合伙) 41205 | 代理人： | 张心龙 |
| 地址： | 450000 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于真空环境下的外部加热装置及超高真空设备，超高真空设备包括真空腔体和外部加热装置，外部加热装置包括加热单元，加热单元包括用于与真空腔体连通的供靶材放置的壳体管，壳体管的一端为盲端，壳体管的外壁上设置有加热结构。靶材放置于壳体管中，通过加热结构对壳体管中的靶材进行加热，在真空腔体外部对目标靶材加热，无需引入真空密封电极，大大简化了超高真空设备的结构，降低了成本，同时也简化了操作，使用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高 真空设备 | ||
【主权项】：
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