[发明专利]一种基于CNTs超表面的THz波传感器、制备方法及其用途有效
| 申请号： | 202010436778.2 | 申请日： | 2020-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN111693494B | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 王玥;张晓菊;崔子健;胡辉;张向;朱永强 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/59 | 分类号： | G01N21/59 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 王丹 |
| 地址： | 710048 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种基于CNTs超表面的THz波传感器，包括衬底，衬底上覆盖有薄膜层，薄膜层上刻蚀有矩形孔阵结构，薄膜层上覆盖有封装层。具有二维周期性对称矩形孔阵结构，结构简单，方便加工；工艺简单，易于实现；用于检测农药残留量，检测方法简单，检测精度高且具有良好的可靠性、稳定性，最低灵敏度为2.0×10 |
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| 搜索关键词： | 一种 基于 cnts 表面 thz 传感器 制备 方法 及其 用途 | ||
【主权项】：
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