[发明专利]一种将石墨烯转移至有机玻璃衬底的方法在审
| 申请号： | 202010438315.X | 申请日： | 2020-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN111620330A | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 张国栋;刘元;赵玉龙;韦学勇;余旺;孙警;张一中 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C01B32/194 | 分类号： | C01B32/194;C01B32/186 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种将石墨烯转移至有机玻璃衬底的方法，先在金属箔上生长单层石墨烯；再将石墨烯/金属箔置于载体之间将金属箔压平；然后在石墨烯表面旋涂一层光刻胶，进行固化；再配制金属箔的刻蚀液，将光刻胶/石墨烯/金属箔置于刻蚀液中对金属箔进行刻蚀；然后用PMMA目标衬底捞取光刻胶/石墨烯，将光刻胶/石墨烯释放至去离子水中进行漂洗，漂洗完后将光刻胶/石墨烯/PMMA目标衬底置于实验台上吹干；然后将光刻胶/石墨烯/PMMA目标衬底置于热板上烘干；对光刻胶进行紫外线曝光；接着利用显影液进行显影，然后用去离子水进行漂洗，最后烘干，完成将石墨烯转移至PMMA目标衬底；本发明简单易行，成功率高，且不会残留光刻胶杂质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 转移 有机玻璃 衬底 方法 | ||
【主权项】：
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