[发明专利]一种半导体制程废气的燃烧处理装置

摘要

本发明公开了一种半导体制程废气的燃烧处理装置，其结构包括引导管道、上固定板、燃烧仓、固定座、输送管道，引导管道安装在上固定板上，并贯穿上固定板与燃烧仓相连接，燃烧仓设于固定座上，固定座上设有输送管道，输送管道与燃烧仓相通，本发明的有益效果：通过在燃烧仓内设立混气装置，使得废气燃烧时，杆轴旋转带动环杆随之旋转，并作用在活动环的子环上，使得环杆旋转的过程中会与活动环嵌合并准确推动活动环运动，进一步借助立板以及镂空状设立的拨动球，使得燃烧中的废气较为均匀，从而达到充分燃烧的目的。