[发明专利]一种电化学机械抛光机在审
| 申请号： | 202010442592.8 | 申请日： | 2020-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN111515852A | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 许文虎;钟敏;吴品杰 | 申请（专利权）人： | 南昌大学 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34;B24B47/20;B24B57/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 南昌青远专利代理事务所(普通合伙) 36123 | 代理人： | 唐棉棉 |
| 地址： | 330000 江西省南*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电化学机械抛光机，包括气缸、导电环、抛光头、透明保护罩、导电盘、安装板和安装框架；所述气缸通过安装板与第一调速电机相连接，并通过固定块固定在安装框架上，所述导电环与抛光头通过上旋转轴相连；所述安装板上固定有气缸活塞杆、双直线导轨和滑块，所述第一调速电机的输出轴通过上联轴器与上旋转轴相连接。本发明结合电、化学、机械多能场作用，可实现集成电路制造中互连金属的高效、超精密抛光。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电化学 机械 抛光机 | ||
【主权项】：
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