[发明专利]多射束扫描电子显微镜在审

专利信息
申请号: 202010443024.X 申请日: 2020-05-22
公开(公告)号: CN111986970A 公开(公告)日: 2020-11-24
发明(设计)人: A.莫罕马迪-盖达里;A.亨斯特拉 申请(专利权)人: FEI公司
主分类号: H01J37/147 分类号: H01J37/147;H01J37/20;H01J37/28
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 张凌苗;申屠伟进
地址: 美国俄*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 多射束扫描电子显微镜。用于检查样本的可变多射束带电粒子装置包含:多射束源,其产生多个带电粒子细束;物镜;样本固持器,其用于在所述物镜和所述多射束源之间固持所述样本;以及聚焦柱,其引导所述多个带电粒子细束使得其入射到所述样本上。所述聚焦柱引导所述多个带电射束使得存在所述多个带电粒子细束的一个或多个交叉,其中每一交叉对应于所述多个带电粒子细束通过共同位置的点。所述可变多射束带电粒子装置还包含可变孔隙,其被配置成改变所述多个带电粒子细束的电流,且位于最接近于所述样本的所述一个或多个交叉的最终交叉处。
搜索关键词: 多射束 扫描 电子显微镜
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于FEI公司,未经FEI公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202010443024.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code