[发明专利]尾气处理装置及半导体设备在审
| 申请号： | 202010443541.7 | 申请日： | 2020-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN111569594A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 周厉颖;杨帅;杨慧萍 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种尾气处理装置及半导体设备，装置包括：位于反应腔室外部且与反应腔室连通的低压排气支路、常压排气支路和尾气处理单元；低压排气支路上设置有低压控制元件，且一端与反应腔室的尾气输出端连通，另一端连接至尾气处理单元，用于在低压工艺中将反应腔室内的工艺尾气排出至尾气处理单元，反应腔室内的气压维持在小于常压的第一预设气压；常压排气支路设置有常压控制元件，且一端与反应腔室的尾气输出端连通，另一端连接至尾气处理单元，用于在常压工艺中将反应腔室内的工艺尾气排出至尾气处理单元，使反应腔室内的气压维持在等于常压的第二预设气压。实现了低压排气和常压排气间的自由切换，扩展机台可做的工艺，并提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 尾气 处理 装置 半导体设备 | ||
【主权项】：
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