[发明专利]一种实现金刚石单晶衬底表面取向的方法有效
| 申请号： | 202010444812.0 | 申请日： | 2020-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN111745305B | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 彭燕;徐现刚;胡小波;王希玮;段鹏;韩晓桐 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/362;B23K26/70;B23K37/04 |
| 代理公司： | 常德宏康亿和知识产权代理事务所(普通合伙) 43239 | 代理人： | 周济妹 |
| 地址： | 250199 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种实现金刚石单晶衬底表面取向的方法，具体的，根据衬底的目标表面与体块金刚石的(100)晶面或者(111)晶面的夹角、以及所述衬底的目标取向，确定夹具的固定端面与定位端面之间的夹、确定所述固定端面相对于水平面的倾斜角以及定位端面在所述固定端面上的设置位置，然后，将所述体块金刚石设置在所述夹具上后，使激光沿水平方向入射至体块金刚石，以将该体块金刚石切割为片状的衬底。本申请通过固定端面与定位端面固定体块金刚石，来实现精确地表面取向控制，经过激光切割后获得取向明确的金刚石衬底材料，并且，该方法操作简单高效，可实现任意取向的金刚石衬底的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 金刚石 衬底 表面 取向 方法 | ||
【主权项】：
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