[发明专利]阵列基板及其制作方法、显示面板有效
申请号: | 202010447754.7 | 申请日: | 2020-05-25 |
公开(公告)号: | CN111584521B | 公开(公告)日: | 2023-10-03 |
发明(设计)人: | 黄学勇;赵亚雄;李广圣;蒋雷;李向峰;朱成顺 | 申请(专利权)人: | 成都京东方显示科技有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1368 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 朱颖;臧建明 |
地址: | 610200 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种阵列基板及其制作方法、显示面板。本发明提供的阵列基板,包括基板和设置在基板上的薄膜晶体管,薄膜晶体管包括栅极、栅绝缘层、源极和金属氧化物图形,源极和金属氧化物图形同层设置,且金属氧化物图形和源极之间具有相互重叠的部分,栅绝缘层在阵列基板的层叠方向上设于栅极和源极之间;其中,金属氧化物图形包括位于中间区域的第一部分和位于第一部分两侧的第二部分,源极和第二部分接触,第一部分半导体化形成有源层,第二部分作为像素电极。本发明提供的阵列基板中薄膜晶体管的性能较好,且阵列基板的生产工艺较为简单,生产成本较低。 | ||
搜索关键词: | 阵列 及其 制作方法 显示 面板 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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