[发明专利]格栅标准样片测量方法、装置及终端设备有效
| 申请号： | 202010447868.1 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN111652860B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 张晓东;梁法国;李锁印;韩志国;赵琳;冯亚南;许晓青 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/11;G06T3/40 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 秦敏华 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种格栅标准样片测量方法、装置及终端设备，该方法包括：基于预设间隔对格栅标准样片的平面区域进行划分，得到多个样片区域；获取多个样片区域的多个扫描图像，并对多个扫描图像进行图像拼接，得到样片图像；其中，多个扫描图像由关键尺寸扫描电镜系统对多个样片区域扫描得到；基于关键尺寸扫描电镜系统的透镜阵列建立笛卡尔坐标系，并基于样片图像确定格栅标准样片中第一预设标志点和第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标；基于第一预设标志点和第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标确定格栅标准样片的长度。本发明提供的格栅标准样片测量方法、装置及终端设备能够有效扩大关键尺寸扫描电镜的测量视场。 | ||
| 搜索关键词： | 格栅 标准 样片 测量方法 装置 终端设备 | ||
【主权项】：
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