[发明专利]一种使用新型硅片拼成166硅片尺寸的切割方法在审
申请号: | 202010448301.6 | 申请日: | 2020-05-25 |
公开(公告)号: | CN111421686A | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
发明(设计)人: | 刘云强;邢旭;李璐 | 申请(专利权)人: | 青岛高测科技股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D5/04 |
代理公司: | 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11624 | 代理人: | 张旭东 |
地址: | 266114 山东省青*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明涉及一种使用新型硅片拼成166硅片尺寸的切割方法,属于晶硅加工技术领域,采用多线切割机进行切片加工,包括以下步骤:清洁粘料板和新型硅块;粘棒:将新型硅块粘结成166尺寸硅棒;上料:将粘接好的硅棒安装到多线切片机中待切割;铺设切割线网:在切割辊上间隔设置多个子线网,子线网与新型硅块相对应;切割:多线切割机采用往复走线,对硅棒进行切割;下料:将硅棒与切割线脱离,有效提高了单晶棒边皮料的利用率,降低了加工生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 使用 新型 硅片 拼成 166 尺寸 切割 方法 | ||
【主权项】:
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