[发明专利]液态金属薄膜电极的制造方法及柔性压力传感器有效
申请号: | 202010449419.0 | 申请日: | 2020-05-25 |
公开(公告)号: | CN111551291B | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 刘坚;张忆秋;聂宝清 | 申请(专利权)人: | 苏州大学 |
主分类号: | G01L1/14 | 分类号: | G01L1/14 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 张荣 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种液态金属薄膜电极的制造方法及柔性压力传感器,包括:将弹性体介电层的两种组分按照比例混合,经过搅拌并除去气泡后,滴加在经表面活性剂处理的第一载体上,并进行旋涂处理;对所述第一载体进行加热,在所述弹性体介电层未完全固化时粘贴导电胶带;将液体金属喷涂在所述弹性体介电层上,形成液态金属电极,且所述液态金属电极与所述导电胶带相连;在带有液态金属电极的弹性体介电层上加入定型体,形成第一液态金属弹性体复合电极,待固化后,将所述第一液态金属弹性体复合电极从所述第一载体上分离。本发明灵敏度高,不易受外界环境干扰。 | ||
搜索关键词: | 液态 金属 薄膜 电极 制造 方法 柔性 压力传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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