[发明专利]一种旋转靶的制备方法及其喷涂设备在审
| 申请号： | 202010451974.7 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN111441021A | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 白平平;黄成建;黄宇彬;阿南·辛格·迪欧达特;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C4/123;C23C4/06 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;宋亚楠 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及溅射镀膜技术领域，尤其涉及提供了一种旋转靶的制备方法及其喷涂设备，包括熔炼炉；加热装置，用于加热熔炼炉；喷涂装置，包括喷嘴和熔体输送管道；其中，喷嘴包括熔体管道以及套设于熔体管道外侧的气体管道，熔体管道的外侧壁与气体管道的内侧壁之间形成喷气间隙，熔体管道通过熔体输送管道与熔炼炉连通。本发明提供的熔炼喷涂设备，具有结构简单、制造成本低的特点；通过在基材表面涂布铟涂层，利用铟与Sn、In和InSn等颗粒之间较强的粘合力，使喷涂层均匀可靠的粘在基材表面，有助于提高靶材溅射形成膜层的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 制备 方法 及其 喷涂 设备 | ||
【主权项】：
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