[发明专利]一种竖式微型红外气体传感器在审
| 申请号： | 202010454297.4 | 申请日： | 2020-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN111693480A | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 李铁;陶继方;刘延祥;徐茂森 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;山东大学 |
| 主分类号： | G01N21/3504 | 分类号： | G01N21/3504 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供一种竖式微型红外气体传感器，包括：微型光学气室、红外光源、红外探测器、信号转接板和ASIC芯片；微型光学气室集成于信号转接板的一侧，ASIC芯片集成于信号转接板的另一侧；红外光源和红外探测器集成于信号转接板上与微型光学气室连接的一面上；微型光学气室包括光输入端和光输出端，光输入端与红外光源连接，光输出端与红外探测器连接；微型光学气室的光路为竖式折叠反射结构；光路与信号转接板垂直设置；竖式微型红外气体传感器为系统级混合封装，红外光源和红外探测器均为芯片级封装，红外光源、红外探测器和ASIC芯片之间为板级集成封装。该红外气体传感器采用系统级混合集成封装，能够有效减小红外气体传感器的体积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 式微 红外 气体 传感器 | ||
【主权项】：
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