[发明专利]沉积设备及沉积方法、沉积设备中温度检测点的确定方法在审
| 申请号： | 202010455965.5 | 申请日： | 2020-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN111485284A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 霍丽艳;滕龙;吴洪浩;谢祥彬;刘兆 | 申请（专利权）人： | 江西乾照光电有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/10 | 分类号： | C30B25/10;C30B25/12;C30B25/16;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 尹秀 |
| 地址： | 330103 江西省南*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种沉积设备及沉积方法、以及沉积设备中温度检测点的确定方法，该沉积设备包括：壳体、位于壳体的沉积腔室内加热装置、载盘以及位于壳体外的温度检测装置，其中，加热装置用于给载盘进行加热，以通过载盘给衬底加热，沉积腔室沿预设方向划分成M个嵌套分布的温场，温度检测装置包括多个温度检测元件，温度检测元件与温场一一对应，用于检测其对应温场的温度，从而可以通过获取各个温度检测元件检测到的与其对应温场的温度，控制加热装置，使得各温场的温度相同或者在一定的误差范围内，以提高M个温场的温度均匀性，进而提高LED中外延结构生长过程中的波长的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 设备 方法 温度 检测 确定 | ||
【主权项】：
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