[发明专利]一种高精度直写式真空镀膜设备在审

专利信息
申请号: 202010456768.5 申请日: 2020-05-26
公开(公告)号: CN111546058A 公开(公告)日: 2020-08-18
发明(设计)人: 沈福根;张红刚;黎明举 申请(专利权)人: 深圳市锐欧光学电子有限公司
主分类号: B23P21/00 分类号: B23P21/00;B23P19/027;B23P19/00;C23C16/50;C23C16/44
代理公司: 深圳众邦专利代理有限公司 44545 代理人: 李茂松
地址: 518000 广东省深圳市宝安区福海街道和平社区重庆路新福工业园A-2栋厂房501(A3-5、A4-2、A6-*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种高精度直写式真空镀膜设备,包括机架、第一工作架、第二工作架和第三工作架,第一工作架设置于机架前侧,第二工作架设置于机架左侧,第三工作架设置于机架后侧,机架上分别设置旋转装置、底盖抓取装置、限位座抓取装置、卡簧上料装置、顶盖抓取装置、压合装置、检测装置和下料装置,底盖抓取装置、限位座抓取装置、卡簧上料装置、检测装置、顶盖抓取装置、压合装置和下料装置分别按顺时针方向依次设置于旋转装置四周,第一工作架上设置底盖上料装置,第二工作架上设置限位座上料装置,第三工作架上设置顶盖上料装置,生产效率高,不良率低,成本低,满足客户的需求,同时质量得到保证,具有良好的市场应用价值。
搜索关键词: 一种 高精度 直写式 真空镀膜 设备
【主权项】:
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