[发明专利]半导体封装在审

专利信息
申请号: 202010458391.7 申请日: 2020-05-26
公开(公告)号: CN112018075A 公开(公告)日: 2020-12-01
发明(设计)人: 蒲菠;朴浚曙;文盛煜 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L23/528 分类号: H01L23/528;H01L23/48
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 倪斌
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种半导体封装可以包括:第一钝化层,与一个或多个第一凸块形成电连接;衬底层,包括第二钝化层和硅层;形成在衬底层上的后道工序(BEOL)层;以及形成在BEOL层上的第三钝化层,与一个或多个第二凸块形成电连接,其中衬底层包括:第一信号硅通孔(TSV),在BEOL层与第一下焊盘之间传输第一信号;第二信号TSV,在BEOL层与第二下焊盘之间传输第二信号;以及接地TSV,设置在第一信号TSV与第二信号TSV之间并被形成为使得其一端连接到BEOL层,而其另一端浮置。
搜索关键词: 半导体 封装
【主权项】:
暂无信息
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