[发明专利]半导体封装在审
申请号: | 202010458391.7 | 申请日: | 2020-05-26 |
公开(公告)号: | CN112018075A | 公开(公告)日: | 2020-12-01 |
发明(设计)人: | 蒲菠;朴浚曙;文盛煜 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L23/528 | 分类号: | H01L23/528;H01L23/48 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 倪斌 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种半导体封装可以包括:第一钝化层,与一个或多个第一凸块形成电连接;衬底层,包括第二钝化层和硅层;形成在衬底层上的后道工序(BEOL)层;以及形成在BEOL层上的第三钝化层,与一个或多个第二凸块形成电连接,其中衬底层包括:第一信号硅通孔(TSV),在BEOL层与第一下焊盘之间传输第一信号;第二信号TSV,在BEOL层与第二下焊盘之间传输第二信号;以及接地TSV,设置在第一信号TSV与第二信号TSV之间并被形成为使得其一端连接到BEOL层,而其另一端浮置。 | ||
搜索关键词: | 半导体 封装 | ||
【主权项】:
暂无信息
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