[发明专利]一种大转角高频率一维电磁驱动微镜在审
| 申请号： | 202010458728.4 | 申请日： | 2020-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN111474707A | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 余晖俊;沈文江 | 申请（专利权）人： | 中科融合感知智能研究院（苏州工业园区）有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 苏州思睿晶华知识产权代理事务所(普通合伙) 32403 | 代理人： | 阮俊敏 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大转角高频率一维电磁驱动微镜，包括驱动外框、驱动线圈、外框扭转轴、内部镜面和内部扭转轴；所述驱动线圈固定安装在驱动外框内部；所述外框扭转轴一端伸出驱动外框，另一端穿过驱动线圈向内延伸；所述外框扭转轴向内延伸端与内部扭转轴连接；所述内部镜面通过内部扭转轴安装在驱动外框内；所述外框扭转轴上设有驱动导线；所述驱动导线将驱动信号引入驱动线圈；所述驱动线圈控制内部扭转轴驱动使内部镜面发生偏转运动；本发明采用驱动外框与内部镜面分离的设计，驱动外框与内部镜面具有不同的工作频率，且内部镜面的内部扭转轴上没有驱动导线，实现了高频率大转角的扫描，提高了微镜的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 转角 频率 电磁 驱动 | ||
【主权项】：
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