[发明专利]一种具有亚波长光栅反射镜的紫外发光二极管

摘要

本发明公开了一种具有亚波长光栅反射镜的紫外发光二极管，包括：由上而下依次设置的衬底、AlN成核层、非掺杂AlGaN缓冲层、n型AlGaN层、AlxGa(1‑x)N/AlyGa(1‑y)N多量子阱层、AlGaN电子阻挡层、p型AlGaN层、在p型AlGaN层下方设置p型欧姆电极，并在p型AlGaN层的其余位置刻蚀亚波长光栅反射镜，在n型AlGaN层下方设置n型欧姆电极，在p型欧姆电极和n型欧姆电极正下方分别设置两个凸点，在两个凸点下设置基座。本发明其结构中的亚波长光栅反射镜具有制备工艺简单、成本低廉的优点，通过优化相关参数，反射率可以达到99％以上；能够有效地提高多量子阱有源区发出的原本向下发出的紫外光被反射向上的反射效率，增加衬底测的出光，从而提高紫外LED的发光强度和发光效率。