[发明专利]一种基于实验室X射线源的中能X射线吸收谱仪

摘要

本发明提供一种基于实验室X射线源的中能X射线吸收谱仪，包括位于可移动且半径恒定的罗兰圆上的X射线源、弯曲晶体和探测器、设于弯曲晶体和探测器之间的样品台、运动调节机构和真空腔体；运动调节机构设置为驱动弯曲晶体和探测器运动和调节，并使得X射线源、弯曲晶体及探测器始终位于罗兰圆上；弯曲晶体、探测器、样品台和运动调节机构均设置于真空腔体的内部，X射线源设于真空腔体的外侧并与其固定连接。本发明将弯曲晶体、探测器、样品台和运动调节机构设置于真空腔体中，以保证光学路径为真空条件，降低光学路径上的空气吸收对X射线的衰减和空气中的背底散射，提高谱仪的最终计数率，搭建具有亚eV能量分辨率的中能X射线吸收谱谱仪。