[发明专利]光阻喷嘴更换装置有效
| 申请号： | 202010465029.2 | 申请日： | 2020-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN111645031B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 闻旭;王琦;赵春雨;李华;张浩 | 申请（专利权）人： | 华虹半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B25B27/14 | 分类号： | B25B27/14 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种光阻喷嘴更换装置。光阻喷嘴更换装置包括：轴套组件，轴套组件包括同轴设置的花键外轴套和内嵌轴套，内嵌轴套内部中空，内嵌在花键外轴套中；在周向上内嵌轴套与花键外轴套啮合，在轴向上内嵌轴套能够相对于花键外轴套作伸缩动作；传动底座，传动底座设于轴套组件的下端，与内嵌轴套的下端传动连接，通过带动内嵌轴套转动从而带动花键外轴套转动，并能够推动内嵌轴套在轴向上相对于花键外轴套作伸缩动作。本申请提供了一种阻喷嘴更换装置，可以解决相关技术中需要通过手动更换光阻喷嘴效率低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 喷嘴 更换 装置 | ||
【主权项】：
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