[发明专利]一种转移承载装置及转移方法

摘要

本发明涉及一种转移承载装置及转移方法。转移承载装置包括光源模块，设置在光源模块出光侧的光调制模块，多个转移元件；光调制模块包括入光面、多个光控区域和出光面；入光面靠近出光侧，出光面远离出光侧，光控区域设置在入光面和出光面之间；转移元件包括第一表面和第二表面，第一表面与光调制模块的出光面接触，第二表面放置待转移微元件。转移方法包括：在转移元件上放置待转移的微元件；使目标基板上的目标转移位置与待转移的微元件一一对准；启动光源模块，其射出的光线进入光控区域；控制进入预定光控区域的光线穿过出光面，改变相应转移元件的形状带动其上的微元件移动。不需要扩晶过程，可选择性转移和修补，精确度高且速度快。