[发明专利]曝光机在审
| 申请号： | 202010466255.2 | 申请日： | 2020-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN111538216A | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 袁夏梁 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 杨艇要 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种曝光机，包括光罩载台和驱动装置，光罩载台包括承载面，承载面上设有固定装置，承载面用于承载光罩，固定装置用于固定光罩载台上承载的光罩；光罩载台内部形成一个露光区域，以使光线透过光罩从露光区域照射到曝光件；驱动装置与光罩载台连接，驱动装置可移动光罩载台、或改变光罩载台的结构，以实现调整露光区域的大小。本申请实施例通过移动光罩载台或者改变光罩载台的结构、以调整露光区域的范围，从而使曝光机可以兼容不同尺寸的光罩，提高了曝光机的适用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 | ||
【主权项】：
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