[发明专利]一种缺陷检测方法在审
| 申请号： | 202010466327.3 | 申请日： | 2020-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN111539955A | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 瞿燕;王恺;郭浩 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/13 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种缺陷检测方法，提供待检测图形的信息文件以及待检测图形的参考图形；根据待检测图形的信息文件搜索该待检测图形的图像；将参考图形生成特征轮廓图；将参考图形的特征轮廓图与所述待检测图形的影像进行匹配对比并重叠显示，抓取图形差异，本发明将参考图形生成特征轮廓图，并且将待检测图形与特征轮廓图重叠显示，基于缺陷扫描电镜机台可以准确捕获缺陷微小差异特征参数，提高缺陷影像检测的可读性、高效性，为缺陷检测高效性、准确性提供保障。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缺陷 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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