[发明专利]基于钛酸锶/铝酸镧异质结的pH传感器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202010472254.9 申请日: 2020-05-29
公开(公告)号: CN111579609B 公开(公告)日: 2021-05-28
发明(设计)人: 陈敦军;董燕;谢自力 申请(专利权)人: 南京大学
主分类号: G01N27/30 分类号: G01N27/30
代理公司: 江苏斐多律师事务所 32332 代理人: 张佳妮
地址: 210046 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种基于钛酸锶/铝酸镧异质结的pH传感器,其结构包括:钛酸锶/铝酸镧异质结,以及蒸镀在LaAlO3层上的两块接触电极,接触电极下方的LaAlO3层被刻蚀掉,使得接触电极能直接接触到二维电子气,在两个接触电极之间留有感测区,感测区和接触电极之外的区域覆盖有保护层。本发明首次将氧化物异质结器件应用于溶液的pH值检测,器件采用无栅极单感测区设计,测试结果表明,器件对溶液pH值表现出良好的感测性能,且制备工艺简单,体积小,将在多领域具有广泛应用。
搜索关键词: 基于 钛酸锶 铝酸镧异质结 ph 传感器 及其 制备 方法
【主权项】:
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