[发明专利]用于固态成像装置的像素在审

专利信息
申请号: 202010477639.4 申请日: 2020-05-29
公开(公告)号: CN111599828A 公开(公告)日: 2020-08-28
发明(设计)人: 木村雅俊;王飞;王欣洋 申请(专利权)人: 长春长光辰芯光电技术有限公司(日本)
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 代理人: 高一明;郭婷
地址: 日本东京都江东*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: [课题]本发明提供一种像素结构,在间接TOF相机用的固态成像装置,抑制杂散光向浮置扩散区(FD)的泄漏,从而提高飞行距离测定精度。[解决方法]在用于固态成像装置的像素100中,具备:光电二极管(PD)10;形成于硅基板的第二表面,一端连接于PD10的多个传输晶体管(TG)20、21;在第二表面上形成的一端和多个传输晶体管TG的另一端连接的多个浮置扩散区(FD)30、31;以及从第一表面朝向第二表面以预定深度形成并且围绕PD的周围的深沟槽隔离(B‑DTI)40,第一B‑DTI40中嵌入了遮光材料45,TG20、TG21栅极在至少一部分上具有从第二表面朝向第一表面以预定深度形成的第一垂直金属栅50。
搜索关键词: 用于 固态 成像 装置 像素
【主权项】:
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