[发明专利]一种太阳能电池表面钝化膜生产设备

摘要

本发明公开一种太阳能电池表面钝化膜生产设备，包括两工艺镀膜柜、两石墨舟、传输装置、上料装置、移载装置；所述传输装置布置于两工艺镀膜柜之间，上料装置布置于传输装置的一端；所述工艺镀膜柜内设有可容纳一石墨舟的腔体，每一石墨舟内置于一工艺镀膜柜；所述移栽装置用于将硅片从上料装置移送至石墨舟上，及将硅片从石墨舟移送至传输装置上。本发明可在同一设备中可完成提升开压的隧穿氧化钝化薄膜和减反射膜的制备，采用伯努利吸盘可避免镀膜划伤问题；同时石墨板上硅片定位机构可减少卡点印、硅片变形、碎片率高等问题。