[发明专利]基板传输方法及装置有效
| 申请号： | 202010479893.8 | 申请日： | 2020-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN113741152B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 崔佳明;吴福龙 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板传输方法以及基板传输装置，该方法包括：控制器确定基板传送台的基准和工件台的基准无偏差；基板传送台运动至传输承载台上的第一工位，且工件台运动至工件台吊框上的第二工位；控制器确定第一工位与第一交接工位无偏差，且第二工位与第二交接工位无偏差；基板传送组件吸附基板，且带动基板从基板传送台运动至工件台上的预设位置。本发明实施例提供的述技术方案，降低了基板从基板传送台运动至工件台的过程中的安全传输风险。 | ||
| 搜索关键词： | 传输 方法 装置 | ||
【主权项】：
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