[发明专利]一种双腔室石英管结构在审
| 申请号： | 202010481583.X | 申请日： | 2020-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN111504069A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 张海林;滕玉朋 | 申请（专利权）人： | 青岛赛瑞达电子装备股份有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D1/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双腔室石英管结构，包括石英工艺管、炉门石英腔室、环形法兰、工艺气体进气管、尾排管、炉门腔室进气管和内外双密封炉门，所述石英工艺管的左端设置有炉门石英腔室，所述石英工艺管的左端设置有环形法兰，所述石英工艺管的内部固定安装有工艺气体进气管，所述石英工艺管的右端固定安装有尾排管，所述炉门石英腔室的顶部固定安装有炉门腔室进气管，所述炉门石英腔室的左侧设置有内外双密封炉门。本发明通过对常用的工艺管的结构进行改进使得该石英管保证在工艺过程中的气体反应物不在管口处存留，炉口清洁，容易与内外双密封炉门的密封状态保持良好，且其结构简单，具有广阔的发展空间以及较高的推广价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双腔室 石英管 结构 | ||
【主权项】：
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