[发明专利]一种电子成像探测器及其制备方法和电子显微成像系统

摘要

本发明公开了一种电子成像探测器及其制备方法，以及采用该电子成像探测器的电子显微成像系统。该电子成像探测器包括：探测器灵敏区，由金刚石材料构成，具有相对而设的第一表面和第二表面；平面电极，设置于第一表面；像素电极，设置于第二表面。本发明中，由于探测器灵敏区所采用的金刚石材料在室温下具有禁带宽度大、电阻率高、抗辐照性能强等特点，因此，不需要通过掺杂等工艺形成的PN结，降低了制备复杂程度。同时，由于金刚石材料的原子序数小、电子散射小，进而降低了电子成像探测器中电子的散射，提高了电子探测的位置分辨率，从而能够获得更加清晰的图像。