[发明专利]基于石墨烯的相位调制器、调制方法及制备方法在审
| 申请号： | 202010484876.3 | 申请日： | 2020-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN111736367A | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 王树龙;张倩;胡泽宇;蔡鸣;杜林;张海峰;陈燕宁;周芝梅 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01;G02F1/00;C23C28/00;C23C14/35;C23C16/26;C23C16/24;C23C16/40;C23C14/16 |
| 代理公司： | 西安睿通知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 61218 | 代理人： | 惠文轩 |
| 地址： | 710071*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了提供一种基于石墨烯的相位调制器、调制方法及制备方法，该相位调制器，包括：自下而上设置于基板上的衬底层、夹层结构和金属层，其中，所述夹层结构自下而上依次包含下约束层、石墨烯层和上约束层；所述石墨烯层的部分表面具有金属薄膜，用于作为外加电压的接地端。衬底层为二氧化硅层；上约束层和下约束层分别为硅层。金属层为铝层。本发明利用石墨烯的电光可调特性，在入射光波长为1550nm时实现对相位的调节，且相位调制器的尺寸较小，有利于实现光电器件小尺寸，高集成的目标。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 石墨 相位 调制器 调制 方法 制备 | ||
【主权项】：
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