[发明专利]一种用于火星车电池板表面的防尘薄膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种用于火星车电池板表面的防尘薄膜及其制备方法，所述防尘薄膜包括打底层、过渡层、工作层和低粘附层；打底层位于电池板表面，过渡层、工作层和低粘附层依次往上设置；打底层为Si层；过渡层为Si和C，且过渡层从下往上Si的含量梯度变化，C的含量逐渐增大；工作层为及Si‑DLC；低粘附层为氟碳或氢氟碳化合物；所述制备方法为，首先对电池板表面进行清洗及处理；然后采用真空镀膜工艺在基体表面制备Si打底层；再通过工艺控制制备致密、光滑的过渡层及Si‑DLC工作层；最后对表面进行氟有机物修饰，降低表面能。采用本发明中的方法制备的防尘薄膜，不但光学性能优良，而且提高了电池板表面除尘性能，节省能量、成本低、操作简单。