[发明专利]一种液态磷注入法合成磷化铟的方法有效
| 申请号： | 202010487276.2 | 申请日： | 2020-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN111424310B | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 付莉杰;孙聂枫;卜爱民;王书杰;李晓岚;张鑫;张晓丹;史艳磊;邵会民;王阳;欧欣;宋瑞良 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02;C30B29/40 |
| 代理公司： | 石家庄众志华清知识产权事务所(特殊普通合伙) 13123 | 代理人： | 王苑祥 |
| 地址： | 050000 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明一种液态磷注入法合成磷化铟的方法，属于半导体技术领域，该方法将气态磷经冷凝器转化为液态磷，液态磷注入铟溶体中，同时借助低温惰性气体的流动随送防止磷气化，使液态磷与液态铟熔体瞬时反应，能够在较低温度下、高效率、高纯度的配比、大容量合成磷化铟溶体，利于生长富磷磷化铟多晶，易于磷化铟单晶的生长。包括：铟的清理、装磷、装炉、连通冷凝器、合成、晶体制备等步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液态 注入 合成 磷化 方法 | ||
【主权项】：
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