[发明专利]一种键合板条键合面相对损耗值的获取方法有效
| 申请号： | 202010488263.7 | 申请日： | 2020-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN111624177B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 张建中;马占宇;柴全;苑勇贵;王钢;王超 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工程大学 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明提供一种键合板条键合面相对损耗值的获取方法，属于激光键合晶体板条的质量检测领域，首先运用已知反射率的标准反射面获取白光干涉装置回损校对值；然后通过干涉仪的延迟线结构，对待测板条中垂直键合面的深度方向扫描测试，获取各个反射面的分布式干涉强度信号，以及键合面的深度定位；进一步利用探头中已知反射率薄膜为标准，将干涉信号转化为反射率的分布式结果，并结合标准反射面的损耗校对值对测量结果校准；再利用菲涅尔反射公式将表面反射率测量结果转化为晶体的折射率，进而计算出键合面处理想的菲涅尔反射率理论值；最后通过键合面的反射率测量值与菲涅尔反射率理论值对比，得到键合面相对损耗值，以此评价键合面质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 板条 键合面 相对 损耗 获取 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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