[发明专利]包括气体检测器的气相反应器系统在审
| 申请号： | 202010488388.X | 申请日： | 2020-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN112051012A | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 金成培;权学龙;金英民;金基康;李承桓 | 申请（专利权）人： | ASMIP私人控股有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26;G01M3/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 焦玉恒 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了用于进行气相反应器系统的泄漏检查的方法和系统。示例性系统包括：第一排气系统，所述第一排气系统经由第一排气管线联接到反应腔室；旁路管线，所述旁路管线联接到气体供应单元且联接到第一排气系统；气体检测器，所述气体检测器经由连接管线联接到旁路管线；连接管线阀，所述连接管线阀联接到连接管线；以及第二排气系统，所述第二排气系统联接到连接管线。方法包括使用第二排气系统来使连接管线排气，从而去除原本可能会影响气体检测器的准确度的连接管线中的残余气体。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 气体 检测器 相反 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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