[发明专利]一种自锁式硅片脱胶工装

摘要

一种自锁式硅片脱胶工装，它包括下压传动杆、工装支架、安装面板和物料承载底杆，工装支架两侧设置有安装面板，物料承载底杆设置在工装支架的底部，下压传动杆设置在工装支架的顶部，下压传动杆的底部通过一自锁装置分别连接有杠杆，杠杆的一端连接在自锁装置的底部，杠杆的另一端通过杠杆支点与档杆轴心相连接，在安装面板上分别设置有档杆活动孔，档杆活动孔的位置与档杆轴心的活动位置相配合；有效地解决了由于脱胶挡片插入所导致的硅片碎片、硅片隐裂和粘胶棱面晶脱等硅片质量问题，解决了线切工序与脱胶工序的全自动下料上料对接问题，为实现全自动化对接提供可能，减少脱胶工序人员操作难度和劳动强度，降低生产工器具损耗。