[发明专利]一种高精度超薄光学零件增厚-光胶-对称减薄加工方法有效
| 申请号： | 202010491541.4 | 申请日： | 2020-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN111644906B | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 周平;韩晓龙;金洙吉;慕卿;闫英;孟德琳;康仁科 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B37/08;B24B37/10;B24B29/02 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 李洪福 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高精度超薄光学零件的增厚‑光胶‑对称减薄加工方法，包括如下步骤：切片；退火；双面研磨；A面研磨；沥青环抛A面；光胶A面；B面研磨；沥青环抛B面。本发明的退火方式可以使毛坯材料中的残余应力按照中间面对称的形式分布。由于经过零件的残余应力是关于中间面对称分布的，若零件两端面的去除量不同则会导致应力释放不对称，从而导致零件翘曲变形。本发明的双面研磨工艺可以控制零件两端面的平行度精度，同时保证去除过程中两端面的减薄量是相等的。本发明采用两端面依次减薄环抛与光胶粘接配合的方法对平面度进行加工和控制。本发明可以加工超薄、高精度平行度、高精度平面度及低表面粗糙度的高质量光学零件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 超薄 光学 零件 对称 加工 方法 | ||
【主权项】：
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