[发明专利]一种微细结构的抛光方法及装置有效
| 申请号： | 202010492333.6 | 申请日： | 2020-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN111716232B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 郭江;张鹏飞;朱志成 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | B24B31/00 | 分类号： | B24B31/00;B24B31/12;B24B31/14;B24B41/06;B24B1/04;C09G1/02 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 李晓亮;潘迅 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种微细结构的抛光方法及装置，基于剪切增稠与化学复合效应实现，装置包括抛光系统、抛光液循环装置、振动装置和角度调节装置。抛光液循环装置位于抛光系统下方，振动装置位于抛光系统上方，角度调节装置可调节振动倾角。方法利用化学腐蚀和非牛顿流体抛光液的剪切增稠效应实现对微细结构工件的腐蚀抛光。具有微细结构的工件表面首先被腐蚀，利用垂直/倾斜振动下抛光液的剪切增稠作用实现对微细结构工件的抛光，通过调控工件振动倾角实现最高效率抛光。本发明可实现对微细结构工件的高效抛光，克服微细结构工抛光过程中表面质量与面形精度不能兼顾的难题，能有效消除表面缺陷。抛光后的微细结构工件具有纳米级表面粗糙度和亚微米级面形精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微细 结构 抛光 方法 装置 | ||
【主权项】：
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