[发明专利]一种基于表面等离子体波的二维过渡金属二硫化物层数可控制备及图案化的制备方法有效
| 申请号： | 202010494077.4 | 申请日： | 2020-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN111689518B | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 刘贤伟;周晓丽 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | C01G39/06 | 分类号： | C01G39/06;C01G41/00;C01B19/00;C01B19/04;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 豆贝贝 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种基于表面等离子体波的二维过渡金属二硫化物层数可控制备及图案化的制备方法，包括以下步骤：采用波长为670nm的激光以全内反射的最大入射角照射在置于水溶液中的样品表面；调控激发表面等离子体波的激光输出功率，得到层数可控的过渡金属二硫化物；所述层数为1层、2层或3层；调控表面等离子体波的传播方向和刻蚀时间，得到图案化的层状过渡金属二硫化物。以二硫化钼为代表性示例，通过调节激发表面等离子体波的光源的输出功率实现二硫化钼的层数控制。同时刻蚀过程取决于表面等离子体波的传播方向，从而实现各种二硫化钼同质结构的图案化。本发明操作简便，对样品污染和损伤极小，处理之后的样品表面完整、洁净。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 表面 等离子体 二维 过渡 金属 二硫化物 层数 可控 制备 图案 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学技术大学，未经中国科学技术大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010494077.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
