[发明专利]一种小型化侧面贴装差动型集成式谐振加速度计有效
| 申请号： | 202010494666.2 | 申请日： | 2020-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN111650400B | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 赵玉龙;黄振秋;李村;李波;韩超;白冰 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种小型化侧面贴装差动型集成式谐振加速度计，包括金属基和两个双端固支石英音叉，金属基包括质量块、挠性铰链和固定金属基座，质量块通过挠性铰链和固定金属基座连接，挠性铰链位于质量块和固定金属基座的中部；两个双端固支石英音叉结构相同，贴装于金属基和固定金属基座的侧面，以差动方式布置；本发明能够降低封装应力和热应力对石英音叉的影响，提高精密弹性部件的加工精度和加速度计精度，具有灵敏度高、尺寸小等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 小型化 侧面 差动 集成 谐振 加速度计 | ||
【主权项】：
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