[发明专利]一种硅片加工用去除磷硅玻璃酸洗装置

摘要

本发明公开了一种硅片加工用去除磷硅玻璃酸洗装置，属于磷硅玻璃酸洗技术领域，一种硅片加工用去除磷硅玻璃酸洗装置，本方案通过在起始的加热过程中，使得碳酸氢钙粉末分解，产生二氧化碳，从而促进气流的从扩散箱进入到溶液箱，使得带动含有氢氟酸的空气对硅片进行酸洗，通过温度的持续提高，可以使得硅片崩落，从而提高对硅片的酸洗效率，并通过残余的氢氟酸与分解的碳酸钙反应，生成氟化钙从而实现对氟元素进行收集，用以氟化氢的再生材料，同时通过碳酸钙与六氟硅酸反应，从而使得六氟硅酸不易伴随着二氧化碳的流动进入到氢氟酸中，使得使用后的氢氟酸溶液中的六氟硅酸的含量降低，提高反应完毕后氢氟酸的纯度。