[发明专利]一种铝靶材组件及降低铝靶材组件中背板变形的焊接方法在审
申请号: | 202010501365.8 | 申请日: | 2020-06-04 |
公开(公告)号: | CN111644738A | 公开(公告)日: | 2020-09-11 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;赵梓聿 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B23K20/02 | 分类号: | B23K20/02;B23K20/14;B23K20/233;C22F1/04;C23G1/12;B23K103/10 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 王岩 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种铝靶材组件及降低铝靶材组件中背板变形的焊接方法,所述焊接方法包括:提供铝靶材和铝背板;所述铝背板为锻打后铝背板依次经热处理和酸洗干燥后得到的背板;将铝靶材和得到的铝背板进行装配并放入包套中,之后依次进行抽真空、脱气及热等静压处理,得到所述铝靶材组件。本发明提供的焊接方法,通过对焊接前背板的热处理和酸洗,结合后续的焊接工艺,使得背板的硬度为100‑130HV,电导率为25‑28MS/m,解决了铝靶材组件在使用过程中背板变形的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 铝靶材 组件 降低 背板 变形 焊接 方法 | ||
【主权项】:
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