[发明专利]一种辉光放电质谱中镓的检测方法在审
申请号: | 202010502086.3 | 申请日: | 2020-06-04 |
公开(公告)号: | CN111638267A | 公开(公告)日: | 2020-09-08 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;周童 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | G01N27/68 | 分类号: | G01N27/68;G01N1/34 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 王岩 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种辉光放电质谱中镓的检测方法,所述检测方法包括:将经制样处理的待检测镓样品依次进行制冷及溅射,之后进行测试。通过本发明提供的检测方法可以避免杂质的引入,并缩短分析时间,确保数据的准确性,同时通过本发明的检测方法可以获得较强的信号,检测灵敏度高。 | ||
搜索关键词: | 一种 辉光 放电 质谱中镓 检测 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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