[发明专利]预调整设备、预调整方法及曝光设备组装方法有效
| 申请号： | 202010502706.3 | 申请日： | 2020-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN111399166B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 蔡志国;江俊龙 | 申请（专利权）人： | 苏州微影激光技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/09 | 分类号： | G02B7/09 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 沈晓敏 |
| 地址： | 215011 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种预调整设备、预调整方法及曝光设备组装方法，镜头模组用于曝光设备，镜头模组包括镜头安装底板及多个镜头，多个镜头可拆卸地安装于镜头安装底板上，曝光设备包括底座、平行设置于底座上的两个支架、连接两个支架的横梁以及镜头模组，镜头模组安装于横梁上。本发明提出了一种可独立预调整的镜头模组，后续再将预调整之后的镜头模组组装至曝光设备中，可大大降低整机装配校验时间，且便于镜头的调整操作。 | ||
| 搜索关键词： | 调整 设备 方法 曝光 组装 | ||
【主权项】：
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