[发明专利]一种视觉耦合压电定位的微纳芯片高通量测试机器人有效
申请号: | 202010503315.3 | 申请日: | 2020-06-05 |
公开(公告)号: | CN111610208B | 公开(公告)日: | 2023-02-03 |
发明(设计)人: | 曹宁;沈斐玲 | 申请(专利权)人: | 郑州轻工业大学 |
主分类号: | G01N23/22 | 分类号: | G01N23/22;G01N23/2204;B25J19/02;B25J11/00 |
代理公司: | 郑州翊博专利代理事务所(普通合伙) 41155 | 代理人: | 付红莉 |
地址: | 450002 *** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明属于微纳技术、微机电系统领域,具体涉及一种视觉耦合压电定位的微纳芯片高通量测试机器人,包括固定于扫描电镜样品台上的圆形基础平台,圆形基础平台上设有压电升降式第一周向旋转平台、压电升降式第二周向旋转平台,压电升降式第一周向旋转平台包括第一旋转检测装置,压电升降式第二周向旋转平台包括第二旋转检测装置,第一旋转检测装置与第二旋转检测装置的端部均设有微纳芯片放置槽,第一旋转检测装置与第二旋转检测装置旋转后,两者的端部相交配合形成微纳芯片观测区。通过第一旋转检测装置与第二旋转检测装置的相互配合,实现不同待测微纳芯片的自动组合,达到高通量测试目的,显著提高测试效率,具有性能测试多元化、自动化的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 视觉 耦合 压电 定位 芯片 通量 测试 机器人 | ||
【主权项】:
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